题名	责任者	出版社	索书号
半导体集成电路制造技术	张亚非等编著	高等教育出版社	TN430.5/111
芯片制造:半导体工艺制程实用教程:a practical guide to semiconductor processing	(美)Peter Van Zant著	电子工业出版社	TN430.5/220