MARC状态:订购 文献类型:中文图书 浏览次数:4
- 题名/责任者:
- 微纳制造与微机电系统/李经民,刘冲,王立鼎编著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2024.08
- ISBN及定价:
- 978-7-03-079358-4/CNY82.00
- 载体形态项:
- 281页:图,照片;26cm
- 个人责任者:
- 李经民 编著
- 个人责任者:
- 刘冲 编著
- 个人责任者:
- 王立鼎 编著
- 学科主题:
- 微机电系统-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TH-39
- 一般附注:
- 科学出版社“十四五”普通高等教育研究生规划教材
- 提要文摘附注:
- 本书共8章,第1章概述MEMS的定义、特点、制造技术、发展历程与未来发展趋势;第2、3章分别介绍体硅和表面微加工技术的原理、流程、常见问题与解决方法;第4章阐述近年来体硅和表面硅工艺在MEMS器件制造方面的应用;第5章介绍LIGA/准LIGA技术;第6章介绍MEMS微传感器;第7章介绍MEMS微执行器;第8章介绍MEMS技术在生物医学、军事安全、远程通信以及航空航天等领域的典型应用案例。
- 使用对象附注:
- 本书适用于高等院校机械工程、仪器科学与技术、电子科学与技术、物理学等专业本科生和研究生
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