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MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:54

题名/责任者:
微光学和纳米光学制造技术/(美) Shanalyn A. Kemme编著 周海宪, 程云芳译
出版发行项:
北京:机械工业出版社,2012
ISBN及定价:
978-7-111-39448-8/CNY66.00
载体形态项:
XII, 196页:图;24cm
统一题名:
Microoptics and nanooptics fabrication
丛编项:
国际信息工程先进技术译丛
个人责任者:
凯米 (Kemme, Shanalyn A.) 编著
个人次要责任者:
周海宪
个人次要责任者:
程云芳
学科主题:
微光技术-光学元件-制造
学科主题:
纳米材料-光学元件-制造
中图法分类号:
TH74
相关题名附注:
英文题名取自封面
书目附注:
有书目
提要文摘附注:
本书内容包括面浮雕衍射光学元件、微光学等离子体刻蚀加工技术、使用相位光栅掩模板的模拟光刻术、光学器件的电子束纳米光刻制造技术、纳米压印光刻技术和器件应用、平面光子晶体的设计和制造、三维 (3D) 光子晶体的制造 —— 钨成型法。
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