MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：42
- 题名/责任者:
- 表面科学与薄膜技术基础/张永平主编
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2022
- ISBN及定价:
- 978-7-03-073128-9/CNY98.00
- 载体形态项:
- 184页:图;24cm
- 个人责任者:
- 张永平 主编
- 学科主题:
- 金属表面处理
- 学科主题:
- 薄膜技术
- 中图法分类号:
- TG17
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 现代半导体技术和先进材料研发的进步, 促进薄膜材料和制备技术快速发展, 要求薄膜制备技术和薄膜结构有精细控制, 需要了解表面与薄膜方面的基本物理知识。本书着重介绍表面与薄膜相关的基本概念、基本原理, 帮助理解掌握薄膜技术的基本知识, 为工作和科研打下良好基础。本书内容包括真空物理基础、表面科学基础、薄膜物理基础、薄膜生长技术、薄膜结构、表面和薄膜分析技术, 以及几种常见的薄膜材料。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TG17/131 | 72505328 |  自然科学第二书库（7F）
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可借 | 自然科学第二书库（7F） | |
| TG17/131 | 72505329 | 自然科学第二书库（7F）
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可借 | 自然科学第二书库（7F） | |
| TG17/131 | 72505330 | 自然科学第二书库（7F）
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可借 | 自然科学第二书库（7F） |
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