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MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:54

题名/责任者:
纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs压/磁多功能传感器研究/赵晓锋著
出版发行项:
哈尔滨:黑龙江大学出版社,2009.08
ISBN及定价:
978-7-81129-126-1/CNY25.00
载体形态项:
246页:图;21cm
丛编项:
黑龙江大学学术文库
个人责任者:
赵晓锋
学科主题:
压力传感器-研究
学科主题:
磁性传感器-研究
中图法分类号:
TP212
书目附注:
有书目 (第234-246页)
提要文摘附注:
本书在温殿忠教授提出的JFET压/磁电效应基本理论基础上, 给出MOSFETs压/磁多功能传感器在四种情况下的基本理论分析。采用CMOS工艺和MEMS技术设计、制作以纳米硅/单晶硅异质结为源极 (S) 和漏极 (D) 的MOSFETs压/磁多功能传感器。
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