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题名/责任者:

飞秒激光微器件制备质量优化技术研究/潘雪涛著

出版发行项:

镇江:江苏大学出版社,2020

ISBN及定价:

978-7-5684-1302-2/CNY40.00

载体形态项:

160页:图;22cm

并列正题名:

Research on quality optimization technology for fabrication of femtosecond laser micro devices

丛编项:

光电材料器件测试及控制技术系列丛书

个人责任者:

潘雪涛, 1973- 著

学科主题:

飞秒激光-激光加工-质量控制-研究

中图法分类号:

TG665

出版发行附注:

江苏省自然科学基金 江苏省“333”人才工程 常州市国际合作计划项目等资助出版

责任者附注:

潘雪涛, 现为常州工学院光电工程学院院长等职。

书目附注:

有书目 (第145-160页)

提要文摘附注:

本书共分为七章, 内容包括飞秒激光微加工领域国内外研究的现状、飞秒激光双光子微加工机理及系统、空气和被加工材料折射率不同对微加工的影响及其补偿方法、飞秒激光微加工焦点光斑的三维整形、扫描步距对微器件表面质量的影响及其优化方法等。

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