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题名/责任者:

压电微机电谐振器/(美) 哈梅特·布格拉, 詹卢卡·皮亚扎主编 吴涛, 李昕欣等译

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2020

ISBN及定价:

978-7-111-63763-9/CNY119.00

载体形态项:

xi, 351页:图;24cm

统一题名:

Piezoelectric MEMs resonators

丛编项:

微纳机电系统先进技术研究与应用丛书

个人责任者:

布格拉 (Bhugra, Harmeet) 主编

个人责任者:

皮亚扎 (Piazza, Gianluca) 主编

个人次要责任者:

吴涛 译

个人次要责任者:

李昕欣 译

学科主题:

微电机-谐振器-研究

中图法分类号:

TN629.1

出版发行附注:

由Springer出版社授权

相关题名附注:

原文题名取自封面

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书主要介绍压电MEMS谐振器的各种制作材料、工艺、参数、特性、测试和评估方法等，并针对相关器件商业化难题进行了讨论，给出了两个成功案例。压电MEMS谐振器具有微型化、更经济、更高性能的品质，在商业化方面极具潜力。

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