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MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：72

题名/责任者:
电子束曝光微纳加工技术/顾文琪主编
出版发行项:
北京:北京工业大学出版社,2004.7
ISBN及定价:
7-5639-1300-9/CNY50.00
载体形态项:
310页:图, 表格;26cm
丛编项:
电子表、离子束、光子束微纳加工技术系列专著
个人责任者:
顾文琪 主编
学科主题:
电子束-曝光-研究
学科主题:
电子束
学科主题:
曝光
中图法分类号:
TL501
书目附注:
本书含参考文献
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 还书位置
TL501/701 70688483   样本书阅览室（密集书库136）     非可借
TL501/701 70688484   自然科学第二书库（7F）     可借 现代技术部（1F）
TL501/701 70688485   自然科学第二书库（7F）     可借 现代技术部（1F）
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