MARC状态:已编 文献类型:西文图书 浏览次数:30
- 题名/责任者:
- VLSI electronics microstructure science;v.15. VLSI metallization Norman G. Einspruch, Simon S. Cohen,gennady Sh. Gildenblat.
- 出版发行项:
- Tokyo Academic Press 1987
- ISBN:
- 0-12-234115-5
- 载体形态项:
- IX, 480c23 cm
- 中图法分类号:
- TN47
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