MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：97
- 题名/责任者:
- 微机电系统(MEMS)原理、设计和分析/田文超著
- 出版发行项:
- 西安:西安电子科技大学出版社,2009
- ISBN及定价:
- 978-7-5606-2223-1/CNY30.00
- 载体形态项:
- 250页:图;26cm
- 丛编项:
- 青年学术文库
- 个人责任者:
- 田文超 著
- 学科主题:
- 微电子技术
- 中图法分类号:
- TN4
- 提要文摘附注:
- 本书比较全面地介绍了MEMS的基本概念、常用材料、工作原理、分析方法、设计方法、加工工艺、表面特性、检测技术、主要应用以及COMSOL软件、MEMS仿真模块。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN4/604 | 71485255 | - |  自然书库（3F东）
|
可借 | 现代技术部（1F） |
| TN4/604 | 71485256 | - | 自然书库（3F东）
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可借 | 现代技术部（1F） |
| TN4/604 | 71485257 | - | 自然书库（3F东）
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可借 | |
| TN4/604 | 71485258 | - | 自然书库（3F东）
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可借 | |
| TN4/604 | 71485259 | - | 自然书库（3F东）
|
可借 | 现代技术部（1F） |
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