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MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:91

题名/责任者:
批间控制理论与设计方法/潘天红, 王海燕, 谭斐著
出版发行项:
北京:科学出版社,2022
ISBN及定价:
978-7-03-071476-3/CNY99.00
载体形态项:
143页:图;24cm
并列正题名:
Theory and design of run to run control
个人责任者:
潘天红
个人责任者:
王海燕
个人责任者:
谭斐
学科主题:
自动控制理论
中图法分类号:
TP13
责任者附注:
潘天红, 安徽大学电气工程与自动化学院教授、博士生导师, 长期从事非线性系统建模与优化控制方面的研究工作。王海燕, 博士, 上海机电学院电气学院教师。长期从事过程控制、统计分析方法、机器学习等方面的研究。谭斐, 博士, 江苏大学电气信息工程学院教师。长期从事半导体晶圆制程的批间控制理论与应用、控制系统性能评估方法等方面的研究。
书目附注:
有书目
提要文摘附注:
本书全面系统地介绍了离散制造过程的批间控制理论及其设计方法, 侧重于混合制程批间控制研究的最新进展。全书共7章, 分为三大部分, 第一部分针对混合制程的控制问题, 阐述了基于JADE、ANOVA、G&P-EWMA、贝叶斯估计及扩张状态观测器的批间控制理论与设计方法; 第二部分针对带测量时延的半导体晶圆制程的控制问题, 给出系统稳定性分析、测量时延概率的估计算法及EWMA滤波器设计方法; 第三部分结合贝叶斯理论, 研究批间控制性能评估方法, 并给出批间控制器协同设计策略。
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索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 还书位置
TP13/312 60265378   临安自科(N-Z)(2F)(信息工程学院)     可借 临安自科(N-Z)(2F)(信息工程学院)
TP13/312 60265379   临安自科(N-Z)(2F)(信息工程学院)     可借 临安自科(N-Z)(2F)(信息工程学院)
TP13/312 72449070   自然书库(3F东)     可借 自然书库(3F东)
TP13/312 72449071   自然书库(3F东)     可借 自然书库(3F东)
TP13/312 72449072   自然书库(3F东)     可借 自然书库(3F东)
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