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题名/责任者:

微电子概论/肖国玲，杨建平，张彦芳编著

出版发行项:

西安:西安电子科技大学出版社,2017.10

ISBN及定价:

978-7-5606-4594-0/CNY29.00

载体形态项:

311页;26cm

学科主题:

微电子技术－概论

中图法分类号:

TN4

提要文摘附注:

本书主要介绍微电子专业的基础知识，主要内容包括微电子产业介绍、半导体分立器件和集成电路、集成电路设计、微电子制造工艺概述、微机电系统、光电器件、新型半导体材料。每章后附有复习思考题，术后附有微电子产业常用专业词汇表和半导体公司常用缩略语和专业词汇表。

使用对象附注:

微电子技术研究者及相关读者。

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