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题名/责任者:

低气压低温等离子体诊断原理与技术/叶超 ... [等] 编著

出版发行项:

北京:科学出版社,2010

ISBN及定价:

978-7-03-027529-5/CNY56.00

载体形态项:

279页:图;24cm

个人责任者:

叶超 编著

学科主题:

等离子体诊断

中图法分类号:

O53

一般附注:

苏州大学研究生优秀教材建设资助项目

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书较全面地介绍了低气压低温等离子体诊断技术的基础知识，总结了近年来该领域的一些新进展，提供了低气压低温等离子体诊断技术应用的实例。全书共7章。第1章至第3章主要介绍了等离子体的基本概念与性质，低温等离子体的产生方法和等离子体中的基本化学过程。第4章着重讲述了低气压低温等离子体的探针诊断技术及其应用。第5章介绍了低气压低温等离子体的波干涉诊断技术。第6章着重讲述了低气压低温等离子体的光谱诊断技术及其应用。第7章着重讲述了低气压低温等离子体的质谱诊断技术及其应用。

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