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题名/责任者:

微机电耦合动力学/许立忠, 孙丽波著

出版发行项:

北京:国防工业出版社,2015

ISBN及定价:

978-7-118-10053-2/CNY98.00

载体形态项:

XV, 303页:图 (部分彩图);24cm

并列正题名:

Coupled dynamics of MEMS

丛编项:

微米纳米技术丛书.MEMS与微系统系列

个人责任者:

许立忠 著

个人责任者:

孙丽波 著

学科主题:

微电子技术-机电设备-耦合-动力学

中图法分类号:

TM

一般附注:

“十二五”国家重点图书出版规划项目

书目附注:

有书目 (第300-303页)

提要文摘附注:

本书综合运用连续体动力学、静电学、流体动力学等理论, 建立了单微梁、双微梁及微板的机电耦合动力学模型, 考虑静电力的非线性以及机电耦合因素, 对静电力作用下微构件的自由振动、在简谐激励作用下的受迫振动、弱非线性系统自由振动、接近共振的受迫振动、远离共振的受迫振动等动力学特性进行了研究。还建立了微梁及微板的机电流体三场耦合动力学模型, 考虑非线性流体阻尼及非线性静电力的影响, 对三场耦合微构件动力学特性进行了研究。

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