- 题名/责任者:
- 极限制造/高治军,许可著
- 出版发行项:
- 徐州:中国矿业大学出版社有限责任公司,2018
- ISBN及定价:
- 978-7-5646-3950-1/CNY28.00
- 载体形态项:
- 127页:图;23cm
- 个人责任者:
- 高治军 (1978-) 著
- 个人责任者:
- 许可 (1978-) 著
- 学科主题:
- 纳米材料-电子器件-生产工艺
- 中图法分类号:
- TN605
- 一般附注:
- 学术前沿研究
- 提要文摘附注:
- 本书以典型纳米器件——单壁碳纳米管场效应晶体管装配制造为范例,面向纳米器件规模化制造,针对SWCNT FET规模化制造市场需求,系统研究了基于浮动电势和介电泳原理的纳米器件装配方法,设计实现了基于浮动电势介电泳的纳米器件批量化装配技术,实验结果验证了研究方法的有效性和可行性,为纳米电子器件制造技术发展提供了有意义的理论指导和实验方法。
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索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
TN605/033 | 72306649 | 自然书库(3F东) | 可借 | 自然书库(3F东) | |
TN605/033 | 72306650 | 自然书库(3F东) | 可借 | 自然书库(3F东) | |
TN605/033 | 72306651 | 自然书库(3F东) | 可借 | 自然书库(3F东) |
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