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题名/责任者:

集成电路工艺实验/谭永胜，方泽波主编

出版发行项:

成都:电子科技大学出版社,2015.04

ISBN及定价:

978-7-5647-2906-6/CNY18.00

载体形态项:

85页:图;26cm

个人责任者:

谭永胜 主编

个人责任者:

方泽波 主编

学科主题:

集成电路工艺-实验

中图法分类号:

TN405-33

提要文摘附注:

本书按一个完整的半导体集成电路工艺过程作用来分配，将各种集成电路单项工艺分为清洗、薄膜沉积、掺杂和图形转移等几类。各部分内容是以提取重要的、有重复性和代表性的工序排成的试验项目。

使用对象附注:

集成电路实验人员

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