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- 题名/责任者:
- Fabrication engineering at the micro-and nanoscale/(美) 斯蒂芬 A·坎贝尔著 严利人, 张伟等译
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,2011
- ISBN及定价:
- 978-7-121-13428-9/CNY83.00
- 载体形态项:
- 640页:图;26cm
- 并列正题名:
- 微纳尺度制造工程
- 丛编项:
- 国外电子与通信教材系列
- 个人责任者:
- 坎贝尔 斯蒂芬 A. 著
- 个人次要责任者:
- 严利人 译
- 个人次要责任者:
- 张伟 译
- 学科主题:
- 微电子技术-教材-英文
- 中图法分类号:
- TN4
- 版本附注:
- 原书第3版
- 出版发行附注:
- 由Oxford University Press, Inc., U.S.A.授权
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术, 覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺, 包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发等。
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索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
TN4/472 | 71694010 | - | 自然书库(3F东) | 可借 | 总借还书处(2F) |
TN4/472 | 71694011 | - | 自然书库(3F东) | 可借 | |
TN4/472 | 71694012 | - | 自然书库(3F东) | 可借 | 现代技术部(1F) |
TN4/472 | 71694013 | - | 自然书库(3F东) | 可借 |
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