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MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：136

题名/责任者:
微电子工艺基础/李薇薇，王胜利，刘玉岭编著
出版发行项:
北京:化学工业出版社,20071
ISBN及定价:
7-5025-9520-1/CNY29.80
载体形态项:
257页:图;26cm
个人责任者:
李薇薇 编著
个人责任者:
王胜利 编著
个人责任者:
刘玉岭 编著
学科主题:
微电子技术-生产工艺
中图法分类号:
TN405
书目附注:
有书目(第257页)
提要文摘附注:
本书共分10章，主要内容涉及半导体硅材料的化学性质、清洗技术、IC制备工艺中有关的物理、化学知识等。
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 还书位置
TN405/444 71056948   样本书阅览室（密集书库136）     非可借
TN405/444 71056949   自然书库（3F东）     可借 现代技术部（1F）
TN405/444 71056950   自然书库（3F东）     可借
TN405/444 71056951   自然书库（3F东）     可借
TN405/444 71056952   自然书库（3F东）     可借 现代技术部（1F）
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