MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：54
- 题名/责任者:
- 纳米压印技术/周伟民 ... [等] 编著
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,2012
- ISBN及定价:
- 978-7-03-032559-4 精装/CNY68.00
- 载体形态项:
- 255页:图;25cm
- 个人责任者:
- 周伟民 编著
- 学科主题:
- 纳米材料-应用-微电子技术
- 中图法分类号:
- TN4
- 中图法分类号:
- TN4
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书首先简单介绍了纳米压印技术的研究现状；然后系统介绍了压印模板的制备和处理、压印用光刻胶、压印工艺和刻蚀工艺等，并着重阐述了纳米压印加工制造技术；此外，还介绍了纳米压印技术在半导体光电器件、半导体存储器件、生物技术和生命科学等领域的最新应用。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN4/727 | 71826940 | - |  自然书库（3F东）
|
可借 | |
| TN4/727 | 71826941 | - | 自然书库（3F东）
|
可借 | 现代技术部（1F） |
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