MARC状态:已编 文献类型:西文图书 浏览次数:25
- 题名/责任者:
- ASMC'91 Proceedinggs IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Cnference and Woekshop (1991: Boston , Mass)
- 出版发行项:
- New York IEEE 1991
- ISBN:
- 0-7803-0152-8
- 载体形态项:
- X, 212c28cm
- 中图法分类号:
- TN4-53
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