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MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：33

题名/责任者:
微机电系统技术基础/石庚辰, 郝一龙编
出版发行项:
北京:电力出版社,2006.8
ISBN及定价:
7-5083-4384-0/CNY27.00
载体形态项:
268页:图;24cm
个人责任者:
石庚辰 编
个人责任者:
郝一龙 编
学科主题:
微电机-高等教育-教材
中图法分类号:
TM38
一般附注:
北京市高等教育精品教材立项项目
提要文摘附注:
本书系统地介绍了有关微机电系统的知识，主要内容包括微机电系统的基本概念、微机电系统所用材料、微机电系统的加工技术、微机电系统的设计技术等。
全部MARC细节信息>>
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