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题名/责任者:

微电子元器件的数值模拟仿真/江五贵，李刚龙，廖述梅著

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2019

ISBN及定价:

978-7-111-63514-7/CNY63.00

载体形态项:

194页:图;24cm

丛编项:

南昌航空大学学术文库

个人责任者:

江五贵 著

个人责任者:

李刚龙 著

个人责任者:

廖述梅 著

学科主题:

微电子技术-应用-电子元器件-数值模拟

中图法分类号:

TN6

提要文摘附注:

本书主要以微电子元器件中的多层陶瓷电容器和互连结构为研究对象，分析了国内外该方向研究的现状和发展趋势，介绍了研发该类微电子元器件在微型化过程中所面临的技术挑战。全书主要介绍了多层陶瓷电容器和互连结构在微型化过程中的尺度效应和失效分析方法，能够为微电子元器件的研究开发人员和学习人员提供帮助和指导。

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