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首记录 上一条 1 / 5 下一条 尾记录 MARC状态:审校 文献类型:中文图书 浏览次数:54

题名/责任者:
微系统光学检测技术/(德) 伏尔夫岗·奥斯腾主编 王伯雄等译
出版发行项:
北京:机械工业出版社,2014
ISBN及定价:
978-7-111-45837-1/CNY95.00
载体形态项:
xvi, 442页:图;24cm
统一题名:
Optical inspection of microsystems
丛编项:
国际制造业先进技术译丛
个人责任者:
奥斯腾 (Osten, Wolfgang) 主编
学科主题:
微电子技术-光学测量
中图法分类号:
TB96
相关题名附注:
英文并列题名取自封面
书目附注:
有书目
提要文摘附注:
书中将检测技术原理与众多应用实例相结合,介绍了微系统检测的应用光学技术,主要提供该领域中典型光学检测技术的全面回顾,包括光散射法、扫描探针显微技术、共焦显微技术、条纹投影技术、栅格和莫尔技术、干涉显微技术、激光多普勒测振技术、全息术、散斑测量术及光谱技术,同时还详述了上述技术相关数据的获取和处理方法。
使用对象附注:
本书是微纳米检测领域一本不可多得的参考书,适合从事微纳制造、微系统检测的科技人员、高等院校相关研究方向的师生参考使用。
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态
TB96/2471 71931820  - 自然科学第二书库(7F)     可借
TB96/2471 71931821  - 自然科学第二书库(7F)     可借
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