- 题名/责任者:
- 微系统光学检测技术/(德) 伏尔夫岗·奥斯腾主编 王伯雄等译
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2014
- ISBN及定价:
- 978-7-111-45837-1/CNY95.00
- 载体形态项:
- xvi, 442页:图;24cm
- 丛编项:
- 国际制造业先进技术译丛
- 个人责任者:
- 奥斯腾 (Osten, Wolfgang) 主编
- 学科主题:
- 微电子技术-光学测量
- 中图法分类号:
- TB96
- 相关题名附注:
- 英文并列题名取自封面
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 书中将检测技术原理与众多应用实例相结合,介绍了微系统检测的应用光学技术,主要提供该领域中典型光学检测技术的全面回顾,包括光散射法、扫描探针显微技术、共焦显微技术、条纹投影技术、栅格和莫尔技术、干涉显微技术、激光多普勒测振技术、全息术、散斑测量术及光谱技术,同时还详述了上述技术相关数据的获取和处理方法。
- 使用对象附注:
- 本书是微纳米检测领域一本不可多得的参考书,适合从事微纳制造、微系统检测的科技人员、高等院校相关研究方向的师生参考使用。
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索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 |
TB96/2471 | 71931820 | - | 自然科学第二书库(7F) | 可借 |
TB96/2471 | 71931821 | - | 自然科学第二书库(7F) | 可借 |
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