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题名/责任者:

热丝法合成金刚石膜/熊礼威, 王传新编著

出版发行项:

北京:化学工业出版社,2018

ISBN及定价:

978-7-122-30944-0 精装/CNY68.00

载体形态项:

106页:图;27cm

并列正题名:

Synthesis of diamond films by hot-filament method

个人责任者:

熊礼威 编著

个人责任者:

王传新 编著

学科主题:

类金刚石膜-研究

中图法分类号:

TB43

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书首先对CVD金刚石薄膜的性质及应用进行概述; 然后对热丝化学气相法沉积金刚石薄膜的形核、生长过程及规律系统地进行研究分析, 并对沉积过程中气相化学进行诊断分析, 讨论添加辅助气体对气相活性基团的影响以及对沉积金刚石薄膜质量和生长速率的影响; 最后介绍热丝CVD金刚石薄膜涂层钻头以及微米、纳米复合涂层金刚石薄膜模具。

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