MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：62
- 题名/责任者:
- 微电子制造技术概论/严利人, 周卫, 刘道广编著
- 出版发行项:
- 北京:清华大学出版社,2010
- ISBN及定价:
- 978-7-302-20818-1/CNY19.00
- 载体形态项:
- 17, 164页:图;26cm
- 并列正题名:
- IC fabrication
- 丛编项:
- 微电子与集成电路技术丛书
- 个人责任者:
- 严利人 编著
- 个人责任者:
- 周卫 编著
- 个人责任者:
- 刘道广 编著
- 学科主题:
- 微电子技术-概论
- 中图法分类号:
- TN4
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 本书介绍和描述了集成电路工艺制造的成套工艺流程和各工艺单步的技术内容。对于流程的介绍, 除举例和说明一般性流程特点之外, 专有一章说明了流程调度实施的技术与算法; 对于各工艺单步, 首先根据各单项工艺技术的作用进行了粗略分类, 在此基础上, 从工艺原理、工艺设备技术特点、实践操作等不同侧面, 进行了略做扩展的描述。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN4/128 | 71641938 | - |  自然书库（3F东）
|
可借 | 现代技术部（1F） |
| TN4/128 | 71641939 | - | 自然书库（3F东）
|
可借 | 现代技术部（1F） |
| TN4/128 | 71641940 | - | 自然书库（3F东）
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可借 | |
| TN4/128 | 71641941 | - | 自然书库（3F东）
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可借 | |
| TN4/128 | 71641942 | - | 自然书库（3F东）
|
可借 |
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