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题名/责任者:

低温等离子体诊断原理与技术/叶超编著

出版发行项:

北京:科学出版社,2021.6

ISBN及定价:

978-7-03-055475-8 精装/CNY169.00

载体形态项:

340页:图;25cm

并列正题名:

Principle and technology of low temperature plasma diagnosis

丛编项:

等离子体物理丛书

个人责任者:

叶超 编著

学科主题:

低温-等离子体诊断

中图法分类号:

O536

一般附注:

“十三五”江苏省高等学校重点教材 (2020-2-029)

相关题名附注:

英文并列题名取自封面

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书阐述了低温等离子体诊断的基本原理与重要技术。从等离子体的基本概念与性质、低温等离子体的产生方法和等离子体中的基本化学过程, 到低温等离子体的探针诊断技术及其应用、光谱诊断技术及其应用、质谱诊断技术及其应用、离子能量诊断技术及其应用、波干涉诊断技术、等离子体阻抗分析技术及其应用, 较全面地介绍了低温等离子体诊断的基础知识, 总结了该领域近年来的一些新进展, 提供了低温等离子体诊断应用的实例。

使用对象附注:

本书可供从事低温等离子体物理、薄膜物理、微电子材料与器件、材料科学与工程、等离子体化学等应用研究的相关科研和工程技术人员参考, 以及在上述专业的研究生或高年级本科生的课程中使用。本书亦可作为从事等离子体其他领域工作的科研和教学参考书

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