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题名/责任者:

微系统设计与制造/王喆垚编著

版本说明:

2版

出版发行项:

北京:清华大学出版社,2015

ISBN及定价:

978-7-302-39167-8/CNY98.00

载体形态项:

10,742页:图;26cm

并列正题名:

Microsystem design and fabrication

丛编项:

信息、控制与系统技术丛书

个人责任者:

王喆垚 编著

学科主题:

微电子技术-设计

学科主题:

微电子技术-制造

中图法分类号:

TM38

提要文摘附注:

本书结合微系统（MEMS）技术的基础理论、典型器件和发展趋势，介绍微系统的力学、电学和物理学基本理论，针对典型器件的分析设计方法和制造技术，以及多个前沿应用领域，力争成为具有一定深度和广度的MEMS领域的教材和实用参考书。主要内容包括：微系统基本理论、制造技术、微型传感器、微型执行器、RF MEMS、光学MEMS、BioMEMS，以及微流体和芯片实验室。

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