MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：42
- 题名/责任者:
- 激光等离子体极紫外光刻光源/窦银萍, 宋晓伟, 陶海岩著
- 出版发行项:
- 北京:国防工业出版社,2018
- ISBN及定价:
- 978-7-118-11793-6/CNY79.00
- 载体形态项:
- 112页:图;21cm
- 个人责任者:
- 窦银萍 著
- 个人责任者:
- 宋晓伟 著
- 个人责任者:
- 陶海岩 著
- 学科主题:
- 激光-等离子体-紫外线-离子刻蚀
- 中图法分类号:
- TN305.7
- 书目附注:
- 有书目 (第104-112页)
- 提要文摘附注:
- 本书首先介绍了用于光刻的激光等离子体极紫外光源的国内外发展现状，并阐述了激光等离子体光源的相关理论。其次介绍了用于6.7nm光源探测的平像场光栅光谱仪的设计、搭建及标定。最后，详细介绍了工作波长6.7nm极紫外光源离子碎屑特性及其阻挡的实验研究结果。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN305.7/384 | 72272603 |  自然书库（3F东）
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可借 | 自然书库（3F东） | |
| TN305.7/384 | 72272604 | 自然书库（3F东）
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可借 | 自然书库（3F东） | |
| TN305.7/384 | 72272605 | 自然书库（3F东）
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可借 | 自然书库（3F东） |
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