MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：31
- 题名/责任者:
- 微机电系统/苑伟政, 乔大勇, 虞益挺编著
- 版本说明:
- 第2版
- 出版发行项:
- 西安:西北工业大学出版社,2021
- ISBN及定价:
- 978-7-5612-7676-1/CNY69.00
- 载体形态项:
- 341页:图;26cm
- 丛编项:
- 微机电系统工程系列教材
- 个人责任者:
- 苑伟政 编著
- 个人责任者:
- 乔大勇 编著
- 个人责任者:
- 虞益挺 编著
- 学科主题:
- 微机电系统-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TM380.5
- 一般附注:
- “十二五”普通高等教育本科国家级规划教材 工业和信息化部“十四五”规划教材
- 书目附注:
- 有书目
- 提要文摘附注:
- 全书分为6章, 分别介绍了MEMS发展历程, MEMS理论基础, MEMS基本工艺技术, MEMS设计技术, 以及典型微器件与微系统和微测试技术。在介绍微加工工艺方面, 本书结合大量工艺实例, 易于学生理解, 有助于提高其动手能力; 对各种典型微机电器件的介绍, 大部分来源于实验室的课题研究实例, 内容充实新颖。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TM380.5/421/2 | 60265350 |  临安自科(N-Z)(2F)(信息工程学院)
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可借 | 临安自科(N-Z)(2F)(信息工程学院) | |
| TM380.5/421/2 | 60265351 | 临安自科(N-Z)(2F)(信息工程学院)
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可借 | 临安自科(N-Z)(2F)(信息工程学院) |
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