MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:30
- 题名/责任者:
- 材料科学与技术丛书 第16卷:半导体工艺/()卡 恩等主编;(美)杰克逊主编;屠海令等译
- 出版发行项:
- 北京:科学出版社,1999.6
- ISBN及定价:
- 7-03-007260-X/¥85.00
- 载体形态项:
- 627页;26cm
- 个人责任者:
- ()卡 恩等主编;(美)杰克逊主编;屠海令等译 著
- 中图法分类号:
- TB3
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