MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：40
- 题名/责任者:
- 硅微机械加工技术/(法)M. 埃尔温斯波克(M. Elwenspoek)，(捷)H. 扬森(H. Jansen)著 姜岩峰译
- 出版发行项:
- 北京:化学工业出版社,2007
- ISBN及定价:
- 978-7-5025-9258-5/CNY58.00
- 载体形态项:
- 348页:图表;24cm
- 并列正题名:
- Silicon micromachining
- 个人责任者:
- (法) 埃尔温斯波克 (Elwenspoek, M.) 著
- 个人责任者:
- (捷) 扬森 (Jansen, H.) 著
- 个人次要责任者:
- 姜岩峰 译
- 学科主题:
- 硅-半导体器件-化学腐蚀加工
- 学科主题:
- 硅
- 学科主题:
- 半导体器件
- 学科主题:
- 化学腐蚀加工
- 中图法分类号:
- TN4
- 一般附注:
- 国外优秀科技著作出版专项基金资助
- 版本附注:
- 本书中文简体字版由Cambridge University Press授权出版
- 书目附注:
- 本书附有书目
- 提要文摘附注:
- 本书主要内容包括：简介、各向异性湿法腐蚀、湿法化学腐蚀的化学物理机制、硅片键合、表面微机械加工、硅的各向同性湿法化学腐蚀、微机械加工技术中干法等离子刻蚀技术简介等。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN4/423 | 71190985 | - |  样本书阅览室（密集书库136）
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非可借 | |
| TN4/423 | 71190986 | - | 自然书库（3F东）
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可借 | 现代技术部（1F） |
| TN4/423 | 71190987 | - | 自然书库（3F东）
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可借 | |
| TN4/423 | 71190988 | - | 自然书库（3F东）
|
可借 |
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