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题名/责任者:

微纳系统技术与应用/姚军, 汪为民编著

出版发行项:

北京:科学出版社,2011

ISBN及定价:

978-7-03-032103-9/CNY50.00

载体形态项:

216页:图;24cm

丛编项:

微纳技术著作丛书

个人责任者:

姚军 编著

个人责任者:

汪为民 编著

学科主题:

微电子技术

中图法分类号:

TN4

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书系统阐述了微纳结构与系统的知识，主要包括微纳系统的基本概念、所用材料、加工方法、在多学科交叉领域的具体应用等。另外，本书还详细探讨了微纳系统领域内一些热点研究方向的最新成果，包括MEMS空间光调制器、MEMS开关、光纤传感器、气体传感器等，并按照设计、加工、测试、封装这一完整流程阐述了研发的方法和技巧，通过实例对各个研发环节的实践经验进行了简明介绍。

电子资源:

http://www.zxhsd.com/kgsm/ts/2011/09/15/2076420.shtml

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