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MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：39

题名/责任者:
微电子化学技术基础/刘玉岭, 李薇薇, 周建伟编
出版发行项:
北京:化学工业出版社,2005.7
ISBN及定价:
7-5025-6548-5/CNY44.00
载体形态项:
401页;26cm
个人责任者:
刘玉岭 编
个人责任者:
李薇薇 编
个人责任者:
周建伟 编
学科主题:
微电子技术-化学-高等学校-教材
中图法分类号:
TN4
一般附注:
高等学校教材
提要文摘附注:
本书介绍了超大规模集成电路相关的化学技术，内容涉及硅材料及硅化合物化学性质、衬底加工、环境净化、净化水的制备、净洗技术、硅气相外延等。
全部MARC细节信息>>
索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态 还书位置
TN4/012 70838846   样本书阅览室（密集书库136）     非可借
TN4/012 70838847   自然书库（3F东）     可借
TN4/012 70838848   自然书库（3F东）     可借 现代技术部（1F）
TN4/012 70838849   自然书库（3F东）     可借
TN4/012 70838850   自然书库（3F东）     可借
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