MARC状态:已编 文献类型:中文图书 浏览次数:41
- 题名/责任者:
- 微加工导论/(芬)弗兰西拉(Sami Franssila)著 陈迪等译
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,2006.1
- ISBN及定价:
- 7-121-01981-7/CNY65.00
- 载体形态项:
- 20,444页;26cm
- 丛编项:
- 国外电子与通信教材系列
- 个人责任者:
- (芬) 弗兰西拉 S. 著
- 个人责任者:
- (芬) Franssila Sami 著
- 个人次要责任者:
- 陈迪 译
- 个人次要责任者:
- 刘景全 译
- 个人次要责任者:
- 朱军 译
- 学科主题:
- 特种加工-教材
- 中图法分类号:
- TG66
- 版本附注:
- 本书中文简体字翻译版由Wiley Publishing, Inc授权出版
- 提要文摘附注:
- 本书介绍了微加工的材料、基本工艺、结构、工艺集成、设备和制造等各个方面。书中还介绍了微加工技术涉及的净化室、成品率、晶圆厂、摩尔定律等。
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索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
TG66/581 | 70881830 | 密集书库126(2F咨询台委托借阅) M0015883 | 可借 | 密集书库126(2F咨询台委托借阅) | |
TG66/581 | 70881828 | 样本书阅览室(密集书库136) | 非可借 | ||
TG66/581 | 70881829 | 自然科学第二书库(7F) | 可借 | 自然科学第二书库(7F) | |
TG66/581 | 70881831 | 自然科学第二书库(7F) | 可借 | 自然科学第二书库(7F) |
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