MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：43
- 题名/责任者:
- 微机电系统与微细加工技术/朱荻[等]编
- 出版发行项:
- 哈尔滨:哈尔滨工程大学出版社,2008
- ISBN及定价:
- 978-7-81133-238-4/CNY30.00
- 载体形态项:
- 227页:图;23cm
- 个人责任者:
- 朱荻 编
- 学科主题:
- 微电子技术-高等学校-教材
- 学科主题:
- 特种加工-技术-高等学校-教材
- 中图法分类号:
- TM38
- 一般附注:
- 国防科工委“十五”规划教材 机械工程
- 题名责任附注:
- 编者还有：云乃彰、汪炜、曲宁松。
- 出版发行附注:
- 与北京理工大学出版社、西北工业大学出版社、哈尔滨工业大学出版社、北京航空航天大学出版社合作出版。
- 书目附注:
- 本书第225-227页附有书目
- 提要文摘附注:
- 本书对微机电系统技术和微细加工技术进行了介绍。全书共分五章，包括微机电系统和微细加工技术的发展趋势，对微机电系统原理和设计、微细加工技术、相关的检测技术以及微机电系统的应用等内容进行了介绍和讨论。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TM38/240 | 71360869 | - |  自然科学第二书库（7F）
|
可借 | 总借还书处（2F） |
| TM38/240 | 71360870 | - | 自然科学第二书库（7F）
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可借 | |
| TM38/240 | 71360871 | - | 自然科学第二书库（7F）
|
可借 | 现代技术部（1F） |
| TM38/240 | 71360872 | - | 自然科学第二书库（7F）
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可借 | |
| TM38/240 | 71360873 | - | 自然科学第二书库（7F）
|
可借 |
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