MARC状态:审校 文献类型:西文图书 浏览次数:15
- 题名/责任者:
- Dielectric films for advanced microelectronics / edited by Mikhail Baklanov, Martin Green, and Karen Maex.
- 出版发行项:
- Chichester, England ; Hoboken, NJ : John Wiley & Sons, 2007.
- 出版发行项:
- Chichester, England ; Hoboken, NJ : John Wiley & Sons, 2007.
- ISBN:
- 9780470013601 :
- ISBN:
- 0470013605
- 载体形态项:
- xxii, 486 pages : illustrations ; 26 cm
- 附加个人名称:
- Baklanov, Mikhail.
- 附加个人名称:
- Green, Martin.
- 附加个人名称:
- Maex, Karen.
- 论题主题:
- Dielectric films.
- 论题主题:
- Microelectronics-Materials.
- 中图法分类号:
- TM215.3
- 书目附注:
- Includes bibliographical references and index.
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