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MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：43

题名/责任者:
微光机电系统/(美) Manouchehr E. Motamedi著 周海宪, 程云芳译
出版发行项:
北京:国防工业出版社,2010
ISBN及定价:
978-7-118-06365-3/CNY68.00
载体形态项:
xviii, 510页:图;23cm
并列正题名:
Micro-opto-electro-mechanical systems
个人责任者:
莫塔麦迪 (Motamedi, Manouchehr E.) 著
个人次要责任者:
周海宪 译
个人次要责任者:
程云芳 译
学科主题:
微光技术-应用-机电系统
中图法分类号:
TH-39
责任者附注:
责任者Motamedi规范汉译姓: 莫塔麦迪
书目附注:
有书目
提要文摘附注:
本书首先介绍集成电路的短暂历史和微加工的发展。然后对MEMS和微光学以及两种技术组合后的发展潜力进行回顾和评述。
全部MARC细节信息>>
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