MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：51
- 题名/责任者:
- 微系统设计/(美)森图里亚(Stephen D. Senturia)著 刘泽文等译
- 出版发行项:
- 北京:电子工业出版社,2004.11
- ISBN及定价:
- 7-121-00422-4/CNY59.00
- 载体形态项:
- 14,453页;26cm
- 并列正题名:
- Microsystem Design
- 丛编项:
- 国外电子与通信教材系列
- 个人责任者:
- (美) 森图里亚 (Senturia, Stephen D.) 著
- 个人次要责任者:
- 刘泽文 (电子) 译
- 学科主题:
- 微电机-教材
- 学科主题:
- 微电机
- 中图法分类号:
- TM38
- 版本附注:
- Kluwer Academic Publishers授权出版
- 提要文摘附注:
- 本书介绍涉及微机电系统设计的方法、理论和技术，涉及MEMS制作工艺和封装技术、MEMS器件的建模和模拟等，并辅助于实例研究。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TM38/466 | 70764026 |  样本书阅览室（密集书库136）
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非可借 | ||
| TM38/466 | 70764027 | 自然科学第二书库（7F）
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可借 | 现代技术部（1F） | |
| TM38/466 | 70764028 | 自然科学第二书库（7F）
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可借 | ||
| TM38/466 | 70764029 | 自然科学第二书库（7F）
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可借 | ||
| TM38/466 | 70764030 | 自然科学第二书库（7F）
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可借 | 总借还书处（2F） | |
| TM38/466 | 70764031 | 自然科学第二书库（7F）
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可借 |
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