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题名/责任者:

微细加工与微纳加工技术及应用/赵波, 李伯民, 李清等编著

出版发行项:

北京:化学工业出版社,2021

ISBN及定价:

978-7-122-36940-6/CNY79.00

载体形态项:

214页:图;26cm

并列正题名:

Micro machining and micro-nano machining technologies and applications

个人责任者:

赵波 编著

个人责任者:

李伯民 编著

个人责任者:

李清 编著

学科主题:

特种加工-技术

中图法分类号:

TG66

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书分别介绍了微切削加工技术，微细电加工技术，激光的微纳米加工技术，面向MEMS与NEMS应用的金刚石CVD技术，纳米机械加工原理、方法与实现；还重点介绍了微纳米加工光刻技术、沉积法图形转移技术、刻蚀法图形转移技术、薄膜沉积技术、自组装纳米加工技术、微纳米加工技术的应用等内容。

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