MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：88
- 题名/责任者:
- 微电子材料与器件制备技术/王秀峰, 伍媛婷编
- 出版发行项:
- 北京:化学工业出版社,2008
- ISBN及定价:
- 978-7-122-02445-9/CNY39.00
- 载体形态项:
- 225页;26cm
- 个人责任者:
- 王秀峰 编
- 个人责任者:
- 伍媛婷 编
- 学科主题:
- 微电子技术
- 中图法分类号:
- TN4
- 提要文摘附注:
- 本书主要包括微电子材料的分类及性能、微电子器件中材料的选择、不同微电子材料与器件的加工工艺以及微电子材料的性能测试技术等内容。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN4/122 | 71303390 | - |  自然书库（3F东）
|
可借 | 现代技术部（1F） |
| TN4/122 | 71303391 | - | 自然书库（3F东）
|
可借 | |
| TN4/122 | 71303392 | - | 自然书库（3F东）
|
可借 | 现代技术部（1F） |
| TN4/122 | 71303393 | - | 自然书库（3F东）
|
可借 |
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