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题名/责任者:

微机电系统 (MEMS) 工艺基础与应用/邱成军, 曹姗姗, 卜丹编著

出版发行项:

哈尔滨:哈尔滨工业大学出版社,2016

ISBN及定价:

978-7-5603-5109-4/CNY48.00

载体形态项:

301页:图;23cm

并列正题名:

MEMS technology foundation and application

个人责任者:

邱成军 编著

个人责任者:

曹姗姗 编著

个人责任者:

卜丹 编著

学科主题:

微电机-高等学校-教材

中图法分类号:

TM38

一般附注:

“十二五”国家重点图书

书目附注:

有书目 (第299-301页)

提要文摘附注:

本书共分为10章，主要内容有：MEMS系统简介，MEMS相关力学基础，体硅加工工艺，表面微加工工艺，硅片键合工艺，LIGA技术，MEMS传感器，MES执行器，MEMS的封装，MEMS的应用及检测技术。

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