MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：34
- 题名/责任者:
- 反应性气体等离子体理论及应用研究/刘相梅著
- 出版发行项:
- 哈尔滨:哈尔滨工程大学出版社,2021
- ISBN及定价:
- 978-7-5661-3167-6/CNY40.00
- 载体形态项:
- 122页:图;26cm
- 个人责任者:
- 刘相梅 著
- 学科主题:
- 放电-研究
- 中图法分类号:
- O461
- 书目附注:
- 有书目 (第116-122页)
- 提要文摘附注:
- 反应性气体经过电离、解离、电子吸附等过程产生正负离子、自由基等混合物, 并通过一系列复杂的化学反应产生具有化学活性的基团、纳米颗粒, 在基片表面沉积固态薄膜材料。例如, 利用硅烷放电产生的复杂等离子体, 在气相条件下合成硅量子点、纳米颗粒, 可以制备光电性能良好的新型多晶硅薄膜材料, 同时在制备光发射二极管、超高密度光学记忆储存器、生物及化学敏感元件等方面也有重要的应用。本书在此背景下对硅烷、乙炔及其混合气体放电进行系统研究。主要从低气压反应性气体放电和大气压反应性气体放电两个方面进行阐述, 并结合自己的研究成果给出其放电特性。
全部MARC细节信息>>
| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| O461/044 | 60268301 |  临安自科(N-Z)(2F)(信息工程学院)
|
可借 | 临安自科(N-Z)(2F)(信息工程学院) | |
| O461/044 | 60268302 | 临安自科(N-Z)(2F)(信息工程学院)
|
可借 | 临安自科(N-Z)(2F)(信息工程学院) | |
| O461/044 | 72445090 | 自然科学第二书库（7F）
|
可借 | 自然科学第二书库（7F） | |
| O461/044 | 72445091 | 自然科学第二书库（7F）
|
可借 | 自然科学第二书库（7F） | |
| O461/044 | 72445092 | 自然科学第二书库（7F）
|
可借 | 自然科学第二书库（7F） |
显示全部馆藏信息
CADAL相关电子图书
借阅趋势
同名作者的其他著作(点击查看)
收藏到： 管理书架