MARC状态：审校 文献类型：中文图书 浏览次数：79
- 题名/责任者:
- CMOS MEMS技术与应用/(美)O. Brand，(美)G. K. Fedder著 黄庆安，秦明译
- 出版发行项:
- 南京:东南大学出版社,2007
- ISBN及定价:
- 978-7-5641-0784-0/CNY78.00
- 载体形态项:
- 500页:图表;24cm
- 丛编项:
- 微纳系统系列译丛
- 个人责任者:
- (美) 布兰德 (Brand, Oliver) 著
- 个人责任者:
- (美) 费德 (Fedder, Gary K.) 著
- 个人次要责任者:
- 黄庆安 译
- 个人次要责任者:
- 秦明 译
- 学科主题:
- MOS集成电路-微电机-电路设计
- 学科主题:
- MOS集成电路
- 学科主题:
- 微机电
- 学科主题:
- 电路设计
- 中图法分类号:
- TN432
- 题名责任附注:
- 责任者Brand规范汉译姓：布兰德；CIP题责任者Fedder汉译姓：费德
- 版本附注:
- 本书中文简体字翻译版由Wiley-Vch授权出版
- 书目附注:
- 本书附有书目
- 提要文摘附注:
- 本书主要介绍如何将MEMS与CMOS电路集成的方法与应用。内容包括CMOS MEMS的制备工艺、材料表征及其与电路或系统的集成化技术、CMOS MEMS技术在惯性传感器等。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TN432/482 | 71363462 | - |  样本书阅览室（密集书库136）
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非可借 | |
| TN432/482 | 71363463 | - | 自然书库（3F东）
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可借 | |
| TN432/482 | 71363464 | - | 自然书库（3F东）
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可借 | 总借还书处（2F） |
| TN432/482 | 71363465 | - | 自然书库（3F东）
|
可借 | 现代技术部（1F） |
| TN432/482 | 71363466 | - | 自然书库（3F东）
|
可借 |
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