MARC状态：已编 文献类型：中文图书 浏览次数：43
- 题名/责任者:
- 微光机电系统(MOEMS)/张文栋, 熊继军编著
- 出版发行项:
- 北京:机械工业出版社,2006.8
- ISBN及定价:
- 7-111-19266-4/CNY28.00
- 载体形态项:
- 10,310页:图;24cm
- 丛编项:
- 光机电一体化技术丛书
- 个人责任者:
- 张文栋 编著
- 个人责任者:
- 熊继军 编著
- 学科主题:
- 微光技术-应用-机电系统
- 中图法分类号:
- TH-39
- 提要文摘附注:
- 本书介绍了微光机电系统的国内外发展状况，微器件的结构设计与仿真，常用的微制造技术；重点介绍了各种MOEMS器件，包括微力学器件、RF微器件、微光学器件、微流体器件以及微温度传感器和微磁场传感器等。
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| 索书号 | 条码号 | 年卷期 | 馆藏地 | 书刊状态 | 还书位置 |
| TH-39/104 | 70967181 |  临安密4(信息工程学院)(不可借)
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非可借 | 临安密4(信息工程学院)(不可借) | |
| TH-39/104 | 70967182 | 临安密4(信息工程学院)(不可借)
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| TH-39/104 | 70967184 | 文一密集（批次2）（非可借）
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| TH-39/104 | 70967185 | 文一密集（批次2）（非可借）
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| TH-39/104 | 70967186 | 文一密集（批次2）（非可借）
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| TH-39/104 | 71016336 | 文一密集（批次2）（非可借）
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| TH-39/104 | 71016337 | 文一密集（批次2）（非可借）
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| TH-39/104 | 71016338 | 文一密集（批次2）（非可借）
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| TH-39/104 | 71016339 | 文一密集（批次2）（非可借）
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| TH-39/104 | 71016340 | 文一密集（批次2）（非可借）
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| TH-39/104 | 71016341 | 文一密集（批次2）（非可借）
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| TH-39/104 | 71016342 | 文一密集（批次2）（非可借）
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| TH-39/104 | 71016343 | 文一密集（批次2）（非可借）
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| TH-39/104 | 71016334 | 密集书库124（非可借）
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非可借 | ||
| TH-39/104 | 71016335 | 密集书库124（非可借）
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非可借 | ||
| TH-39/104 | 70967180 | 中文书库(J、TH类)（11F）
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可借 | 中文书库(J、TH类)（11F） | |
| TH-39/104 | 70967183 | 中文书库(J、TH类)（11F）
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可借 | 中文书库(J、TH类)（11F） | |
| TH-39/104 | 70967179 | 样本书阅览室（密集书库136）
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非可借 |
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