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MARC状态：已编 文献类型：西文图书 浏览次数：31

题名/责任者:
Introduction to microfabrication / Sami Franssila.
出版发行项:
Chichester, West Sussex, England ; Hoboken, NJ : J.Wiley, c2004.
ISBN:
0-470-85106-6(paper)
载体形态项:
xvii, 401 p. : ill. ; 26 cm
个人责任者:
Franssila, Sami.
丛编团体名称:
20050323
论题主题:
Microelectromechanical systems.
论题主题:
Microfabrication.
论题主题:
Electronic apparatus and appliances.
中图法分类号:
TN4
一般附注:
commened by Huibin Qin.
书目附注:
Includes bibliographical references and index.
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索书号 条码号 年卷期 馆藏地 书刊状态
TN4/F1*1 40035661   外文书库(外文原版)（11F）     可借
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