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题名/责任者:

微系统光学检测技术/(德) 伏尔夫岗·奥斯腾主编 王伯雄等译

出版发行项:

北京:机械工业出版社,2014

ISBN及定价:

978-7-111-45837-1/CNY95.00

载体形态项:

xvi, 442页:图;24cm

统一题名:

Optical inspection of microsystems

丛编项:

国际制造业先进技术译丛

个人责任者:

奥斯腾 (Osten, Wolfgang) 主编

学科主题:

微电子技术-光学测量

中图法分类号:

TB96

相关题名附注:

英文并列题名取自封面

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

书中将检测技术原理与众多应用实例相结合，介绍了微系统检测的应用光学技术，主要提供该领域中典型光学检测技术的全面回顾，包括光散射法、扫描探针显微技术、共焦显微技术、条纹投影技术、栅格和莫尔技术、干涉显微技术、激光多普勒测振技术、全息术、散斑测量术及光谱技术，同时还详述了上述技术相关数据的获取和处理方法。

使用对象附注:

本书是微纳米检测领域一本不可多得的参考书，适合从事微纳制造、微系统检测的科技人员、高等院校相关研究方向的师生参考使用。

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