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题名/责任者:

非硅MEMS技术及其应用/陈文元, 张卫平, 陈迪著

出版发行项:

上海:上海交通大学出版社,2015

ISBN及定价:

978-7-313-12525-5 精装/CNY150.00

载体形态项:

279页:图;24cm

个人责任者:

陈文元 著

个人责任者:

张卫平 著

个人责任者:

陈迪 著

学科主题:

微电子技术-研究

中图法分类号:

TN4

一般附注:

上海科技专著出版基金资助 上海交通大学学术出版基金资助项目

书目附注:

有书目 (第260-277页) 和索引

提要文摘附注:

非硅MEMS技术是在硅MEMS技术基础上发展起来的, 又与硅MEMS技术互为补充。本书详细地叙述了非硅MEMS技术的特点, 非硅材料, 三维非硅微加工新技术, 新型非硅微传感器和微执行器等非硅MEMS技术及其应用。

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