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题名/责任者:

批间控制理论与设计方法/潘天红, 王海燕, 谭斐著

出版发行项:

北京:科学出版社,2022

ISBN及定价:

978-7-03-071476-3/CNY99.00

载体形态项:

143页:图;24cm

并列正题名:

Theory and design of run to run control

个人责任者:

潘天红 著

个人责任者:

王海燕 著

个人责任者:

谭斐 著

学科主题:

自动控制理论

中图法分类号:

TP13

责任者附注:

潘天红, 安徽大学电气工程与自动化学院教授、博士生导师, 长期从事非线性系统建模与优化控制方面的研究工作。王海燕, 博士, 上海机电学院电气学院教师。长期从事过程控制、统计分析方法、机器学习等方面的研究。谭斐, 博士, 江苏大学电气信息工程学院教师。长期从事半导体晶圆制程的批间控制理论与应用、控制系统性能评估方法等方面的研究。

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书全面系统地介绍了离散制造过程的批间控制理论及其设计方法, 侧重于混合制程批间控制研究的最新进展。全书共7章, 分为三大部分, 第一部分针对混合制程的控制问题, 阐述了基于JADE、ANOVA、G&P-EWMA、贝叶斯估计及扩张状态观测器的批间控制理论与设计方法; 第二部分针对带测量时延的半导体晶圆制程的控制问题, 给出系统稳定性分析、测量时延概率的估计算法及EWMA滤波器设计方法; 第三部分结合贝叶斯理论, 研究批间控制性能评估方法, 并给出批间控制器协同设计策略。

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