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题名/责任者:

新型微纳传感器技术/赵玉龙, 蒋庄德著

出版发行项:

北京:化学工业出版社,2022

ISBN及定价:

978-7-122-42346-7 精装/CNY128.00

载体形态项:

244页:图;26cm

并列正题名:

Micro and nano sensor technology

丛编项:

西安交通大学研究生“十四五”规划精品系列教材

个人责任者:

赵玉龙 著

个人责任者:

蒋庄德 著

学科主题:

微电机-传感器

中图法分类号:

TP212

出版发行附注:

国家科学技术学术著作出版基金资助出版

书目附注:

有书目

提要文摘附注:

本书围绕微纳传感与测试技术的知识架构, 阐述微纳传感器的基本原理、优势特点与应用。本书主要介绍单晶硅压阻原理、加速度传感器、压力传感器、谐振传感器、机床刀具测力和振动传感器、薄膜测力传感器、爆轰爆速传感器、MEMS电热执行器、气体传感器等典型微纳传感器的设计与制造方法。

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