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题名/责任者:

高频宽带体声波滤波器技术/李国强著

出版发行项:

北京:科学出版社,2024.05

ISBN及定价:

978-7-03-078688-3/CNY218.00

载体形态项:

396页;16开

丛编项:

半导体科学与技术丛书

个人责任者:

李国强 著

学科主题:

高温超导性-有源滤波电路

中图法分类号:

TN713

提要文摘附注:

本书共8章。第1章介绍滤波器的发展史，着重分析射频滤波器的种类及体声波滤波器的研发进展。第2章和第3章从体声波滤波器的物理基础出发，基于声波的传输理论与材料的压电理论推导出器件仿真模型，并以两款体声波滤波器的设计案例介绍设计方法的应用，展现关键影响因素在设计过程中的调整规律。第4～6章依次介绍了AIN薄膜的制备与表征方法、体声波滤波器的关键制备工艺与封装技术，结合本书作者团队的研究成果，表明了单晶AlN体声波滤波器(SABAR)技术路线较多晶AIN路线的优势等。

使用对象附注:

本书适用于射频通信、芯片制造、半导体等行业从业人员，特别是研发人员；高等院校通信、集成电路、材料等专业学生

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